1) прямой и косвенный
2) метод сканирования «карандашным» пучком и метод пассивного рассеяния (+)
3) быстродействующий и метод отложенного эффекта
4) метод пассивного сканирования протонным пучком и метод активного рассеяния электронов
1) прямой и косвенный
3) быстродействующий и метод отложенного эффекта
4) метод пассивного сканирования протонным пучком и метод активного рассеяния электронов