1) бомбардировку атомов исследуемого элемента пучком быстрых электронов
2) подготовку и подачу пробы в источник излучения
3) возбуждение атомов пробы
4) подготовку атомов пробы к поглощению световой энергии, разделение соединений в составе пробы на отдельные атомы (+)