1) бомбардировку атомов исследуемого элемента пучком быстрых электронов
2) разделение соединений в составе пробы на отдельные атомы, придание частицам заряда
3) подготовку атомов пробы к поглощению световой энергии, разделение соединений в составе пробы на отдельные атомы и их возбуждение
4) формирование узкого пучка положительно или отрицательно заряженных ионов (+)