1) приготовление аналита к излучению световой энергии
2) подготовку и подачу пробы в источник излучения
3) бомбардировку атомов исследуемого элемента пучком быстрых электронов
4) подготовку атомов пробы к поглощению световой энергии, разделение соединений в составе пробы на отдельные атомы и их возбуждение (+)